Shanghai  Xinzhou  Technology  Co., Ltd.​
上海信舟科技有限公司
英国Prior全系列精密移动平台
    发布时间: 2020-12-21 23:41    

英国Prior精密移动平台,微米,纳米,电动Z轴以及激光自动对焦

英国Prior全系列精密移动平台

久经考验,仍然值得信赖

 

在将久经考验的反卷积算法集成到新的 Image-Pro 模块中时,我们进行了一系列实验室测试,以确保新的集成仍然值得信赖,并且即使在新平台中也能提供可靠、可重复的结果。下面的白皮书详细介绍了这些测试的结果和结论。

 

简而言之,我们所有的新测试都产生了令人放心的结果。AutoQuant Fixed PSF 和 Adaptive PSF 算法在所有情况下都继续提供一致的改进和可靠的数据尤其是对于我们观察到几乎相同改进的 3D 数据。事实上,我们的测试都没有显示结果存在显著差异。因此,新模块经过简化,仅专注于 3D 图像的固定 PSF 算法,从而加快设置速度并生成与以前的 AutoQuant 版本相同质量的数据。


一、ProScan H101A


 

用于正置显微镜的电动显微镜载物台


 

ProScan H101A 是一款用于正置显微镜的电动 XY 载物台,可完全定制。其紧凑的设计使其非常适合集成到 OEM 设备或定制显微镜中。


它有一个 2 mm 滚珠丝杠和 200 级电机,可在速度和分辨率之间取得平衡,提供亚微米级的可重复性,同时还提供 H1P4A 平台的 4 倍速度。Prior 获得专利的智能扫描技术 (IST) 优化了载物台的精度和线性度。


H101A 可容纳各种样品类型,包括载玻片、多孔板、半导体晶片和冶金样品。

 

主要特点


l与大多数品牌的正置显微镜兼容,并完全可定制以用于 OEM 项目

l1μm 或更好的可重复性

l安静可靠

l多种样品架

l智能扫描技术™(美国专利 7,330,307)




产品兼容


OpenStand-U、OpenStand-M、OpenStand-L


 

二、ProScan H138A

 

可容纳 8 张载玻片的电动显微镜载物台




H138A 电动 XY 载物台设计用于集成到定制显微镜或 OEM 设计中,并适应不同的硬件配置。


它使用 2 mm 节距滚珠丝杠和 200 级电机驱动来快速覆盖其较大的行程区域,并采用 Prior 的专利智能扫描技术 (IST) 来优化平台精度和线性度。


H138A 最多可容纳 8 个 75 mm x 25 mm 显微镜载玻片,并提供更长的横向行程,用于对大型样品(如 PCB)或多个样品阵列进行成像。


主要特点


l与大多数品牌的正置显微镜兼容,并完全可定制以用于 OEM 项目

l1μm 或更好的可重复性

l扩展横向行程,适用于较大样品或多个载玻片的成像

l多种样品架


 

产品兼容


OpenStand-U、OpenStand-M、OpenStand-L

 

三、OptiScan ES111

 

用于正置显微镜的经济型电动载物台





ES111 是一款适用于正置显微镜的入门级电动 XY 载物台。它与Prior的OpenStand兼容,可轻松集成到OEM产品或定制显微镜中


该载物台具有可靠且精确的抗反冲丝杠/步进电机,适用于不需要亚微米可重复性的常规成像应用,是显微镜自动化的经济实惠的选择


它可容纳多种样品类型,包括载玻片、多孔板、培养皿和抛光冶金样品。ES111 是为任何显微镜应用引入基本电动化的理想平台 - 它目前用于研究和工业环境中的载玻片扫描、颗粒分析、工业显微镜、荧光显微镜和计量学


由于其低成本和易用性,ES111 也是电动显微镜教育或家用病理系统的理想选择。


主要特点


l与工业和生命科学 Nikon 显微镜兼容

l 成本低,易于设置且易于使用

l  便于常规多位置成像和拼接

l  适用于大多数显微镜应用的多种样品架

l  坚固、简单的设计,可集成到大型复杂系统中



产品兼容:


OpenStand-U、OpenStand-M、OpenStand-L

 

四、ProScan H105N2F

 

用于正置显微镜的电动平顶 6 英寸移动载物台



ProScan H105N2F 是一款专为正置工业显微镜设计的电动 XY 平顶载物台。 


它完全可定制,可集成到 OEM 设备中,但也可直接安装在尼康工业显微镜和 Prior OpenStand-L 平台上。有关详细信息,请参阅产品兼容性选项卡。

它具有 154 x 154 mm 的 XY 行程,针对扫描 6 英寸半导体晶片和其他工业样品进行了优化。


H105N2F 可靠、高效地扫描工业样品。它采用 Prior 的专利智能扫描技术 (IST) 来提高精度和线性度,并采用 2 毫米滚珠丝杠以提高速度。

其平顶板便于取用样品进行上样,并确保与各种光学元件兼容。


它与 Nikon NIS Elements 软件兼容(需要适当的软件包)

 

主要特点


l易于集成到定制的成像解决方案中

l直接与 Nikon 工业显微镜和软件兼容

l美观且用户友好的平顶设计

l行程范围支持 6 英寸晶圆

l智能扫描技术™(美国专利 7,330,307)


 


 

五、ProScan H116/2

 

用于正置显微镜的电动平顶 6 英寸移动载物台




用于正置工业显微镜的ProScan H116/2电动XY载物台与Prior的OpenStand-L平台兼容,并且是完全可定制的。


它具有较长的行程范围和 25 kg 的负载能力,可用于扫描大型重型样品,例如 8 英寸半导体晶片、平板显示器和直径达 200 mm 的印刷电路板。

H116/2 采用 Prior 的专利智能扫描技术 (IST),可提高精度和线性度,并采用 2 mm 滚珠丝杠以提高速度。它可以可靠、高效地扫描大型工业样品。


根据您所在的地区,可能提供其他用于提高速度的驱动器配置。


它与透射光应用兼容,便于上样。

 

主要特点


l易于集成到定制的成像解决方案中

l支持 8 英寸晶圆,具有额外的 X 轴行程范围,便于样品加载

l纤薄设计,负载能力为 25 kg

l速度和精度的完美结合

l智能扫描技术™(美国专利 7,330,307)





六、ProScan H112/2ST

 

用于正置显微镜的电动 12 英寸移动载物台





ProScan H112/2ST 电动 XY 载物台与尼康和 Evident/奥林巴斯正置工业显微镜、Prior 的 OpenStand-L 平台兼容,并且可以 轻松集成到定制显微镜中。


它专为扫描大型重型样品而设计,如 12 英寸半导体晶片、平板显示器和印刷电路板,可提供 Prior XY 平台中最长的行程范围。它与透射光应用兼容。


H112/2ST 采用 Prior 的专利智能扫描技术 (IST),可提高精度和线性度,并采用 2 mm 滚珠丝杠以提高速度。


该载物台与 Nikon NIS Elements、Olympus Stream Motion 和 Evident PRECiV 软件兼容(需要适当的软件包)

 

主要特点


l直接与 Nikon 和 Evident/Olympus 工业显微镜和软件兼容

l轻巧纤薄的设计便于集成

l适用于半导体应用的 12 英寸行程范围

l智能扫描技术™(美国专利 7,330,307)



七、ProScan HWL6AL12


电机驱动的半导体晶圆检查穿梭机平台,奥林巴斯晶圆处理系统





 



Prior Scientific的电动穿梭台设计用于晶圆检查,使用奥林巴斯的AL120晶圆处理系统。该台大大减少了操作员的错误和疲劳,同时提高了晶圆检查的速度

 

HWL6AL12自动加载和卸载晶圆。在操作过程中,shuttle系统会自动移动到正确的装载位置并激活装载器开关,通知装载器晶圆夹具已准备好接收晶圆。在转移到shuttle后,shuttle缩回,允许检查。该平台允许使用操纵杆进行手动检查,或预先编程的模式进行完全自动化的检查。

 

HWL6A L12具有较大的行程范围,结合出色的重复性和分辨率,与Prior的ProScan III系统结合使用,确保准确性、精确度、最小误差和最终更有效的晶圆检查过程。

 

主要特点


l行程范围为250 x 210毫米

l分辨率 0.04 微米

l重复性为±0.2微米

l自动加载和卸载晶圆

l与ProScan III系统和奥林巴斯AL120晶圆处理系统兼容

 

八、H116SPN

 

用于尼康晶圆处理系统的电动半导体晶圆穿梭台



 



 

ProScan lll系统获得专利的智能扫描技术 (IST)ProScantm lll 控制器和载物台包括标准IST,可显著提高载物台的测量精度,先前的交互式控制中心PS3J100本地控制中心提供位置反馈和测量能力


要获得这些结果,需要使用优先ProScan™三级(或更高)控制器。通过优先测试方法获得的结果。* ProScanTlll控制器具有回差校正功能时的平均性能;所有重复性都是单向的。SPR电机每转的完整步数

 

主要特点


l双向可重复性±1.3微米

l单向可重复性±0.2微米

l最大行程范围250×210毫米

l最小步长(分辨率)0.04微米

l推荐速度40毫秒

l滚珠丝杠螺距2毫米

l电动机类型200SPR

l重量9千克




   

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